Die Halbleitertechnologie am LTE / ZEITlab
Aufbau
Der Lehrstuhl für Technische Elektronik betreibt seit Mitte der 80'er Jahre eine Halbleitertechnologie.
Auf 80 m² Reinraumfläche (Klasse 1000) können sehr flexibel und vielseitig laterale und vertikale Strukturen erzeugt werden.
Neben Standarbauelementen zur Technologieevaluation forschen wir an Demonstratoren neuartiger
Bauelemente, magnetischen Dünnschichten für Logikanwendungen und Carbon-Strukturen für die Nanotechnologie.
Dazu stehen uns weitere 240 m² Laborfläche zur Schichtabscheidung/Dotierung/Oxidation und 250 m²
Laborfläche für Metrologie und elektrische/optische/magnetische Analyse zur Verfügung.
Ziel ist es, neuartige Materialien, Strukturen und physikalische Effekte auf deren Einsatz in
Bauelementen zu testen und die schaltungstechnisch relevanten Parameter für die Systemsimulation zu bestimmen.
Prozesstechnik
Im Rahmen der Prozesstechnik stehen uns eine Vielzahl hochwertiger Geräte zur Verfügung.
Analytik und Messtechnik
Für die Analytik und Messtechnik stehen uns folgende Geräte zur Verfügung.
Feinmechanische Werkstatt
Zur Neu- und Weiterentwicklung unserer Forschungsgeräte steht uns unsere feinmechanische Werkstatt zur Verügung.
Feinmechanische Werkstatt
Kooperationen
Momentan bestehen feste Kooperationen, beispielsweise mit dem Fachgebiet HES von Prof. Kreupl, aber auch lose Verbünde mit einzelnen Lehr- und Forschungseinheiten, auch außerhalb der Fakultät EI. Wir bieten unsere Dienste je nach Möglichkeit innerhalb der TU an. Bei Interesse lassen Sie sich von uns beraten, wir freuen uns über Ihre Anfrage.
Unter Bezugnahme auf § 19 Abs. 2 VOL/A und Nr. 5.7.1 Abs. 1 Satz 6 HvR 2011/2012
veröffentlichen wir hier erteilte Aufträge für die Dauer von 3 Monaten.